摘要: 在分析电子束流高能特点基础上研究束流信号检测和测量方法，提出小角度电子束磁控偏转扫描采集方案，在高温难熔钨板上设计直径25 μm的小孔传感器，建立信号检测装置和控制流程，共享60 MHz时钟保证扫描与采集同步，将透过小孔的电子强度转换成电压信号，经高频A/D采样和量化后高速传输到内存，对电子束单层截面信号可视化重构后依能量等级进行划分和能量密度分布计算，通过不同高度的多层数据重构活性区体模型，分割空间能量等值面形成序列能量曲面，标定能量峰值90%的空间区域为活性区焦斑. 文中的软硬件系统能够有效应用于电子束品质评价.